真空获得与真空镀膜

真空获得与真空镀膜

摘    要

通过对真空获得与真空镀膜的理论学习与实验研究，了解了真空与真空镀膜的发展历程、应用现状、以及它们在各个领域的前景。本文介绍了真空获得与真空镀膜的各方面知识、一般的真空获得方法和常用的镀膜方法、以及各自的优缺点。实验过程采用DH2010多功能真空实验仪，在获得一定真空度的真空环境后，用蒸发镀膜的方法在载玻片表面镀上匀质铝膜。本课题的学习研究，是对我大学四年理论与实践方面所学知识的一个概括与总结，使我在专业知识层面又获得了一次大大的提升。

关键词：真空  真空镀膜  镀膜  

目  录

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目录 iii

第一章     绪论 1

1.1  镀膜技术的历史 1

1.2  真空镀膜技术以及设备的基本现状 1

1.3  真空镀膜的应用前景 2

第二章     真空获得 4

2.1  真空的获得方法 4

2.1.1  真空度 4

2.2  真空泵的分类 5

2.2.1  气体传输泵 5

2.2.2  气体捕集泵 7

2.3  真空泵的性能参数及使用范围 7

2.3.1  真空泵的性能参数 7

2.3.2  真空泵的使用范围 8

2.4  真空泵在真空系统中所承担的工作任务 9

2.5  真空泵型号及规格的表示方法 10

第三章     真空镀膜 11

3.1  薄膜的获得方法 11

3.2  真空蒸发镀膜法 11

3.2.1  电阻蒸发源蒸镀法 11

3.2.2  电子束蒸发源蒸镀法 11

3.2.3  高频感应蒸发源蒸镀法 12

3.2.4 激光束蒸发源蒸镀法 13

3.3  溅射镀膜 13

3.4 离子镀膜 14

第四章     真空获得与真空镀膜实验 16

4.1  设备简介 16

4.1.1  仪器的组成 16

4.2  仪器结构图及说明 16

4.2.1  真空室 16

4.2.2  真空系统 17

4.2.3  复合真空计 17

4.3  真空获得与真空镀膜实验 18

4.3.1  实验前准备 18

4.3.2  真空室抽真空 18

4.3.3  蒸镀铝膜 19

4.4  注意事项 21

第五章     结论 22

致谢 24

参考文献 25