利用吸收法测量薄膜厚度

利用吸收法测量薄膜厚度

摘    要

金属薄膜的物性及特性研究始终是关注的热点。对于金属薄膜而言，膜薄厚度是一个非常重要的特征尺寸，直接影响薄膜的使用特性，而几乎所有的薄膜特性又都与膜厚有关，尤其是厚度较小的薄膜，其特性还将出现明显的尺寸效应，所以膜厚的测量变得尤为重要。本文先介绍了有关薄膜背景和应用领域等方面。本论文最主要的是利用了光的吸收法来测量薄膜透射与膜厚的关系，从而来计算一些同材料的膜厚。具体地来说，对于不同厚度的薄膜，其对于光的吸收也会有一定的变化，也就是利用薄膜对光强的吸收特性。通过实验来得出光的透射率与薄膜厚度的关系，也就是光源通过薄膜所产生的衰减与薄膜厚度呈一定的关系，利用这种关系可以对薄膜厚度进行测量。

关键词：吸收、膜厚、透射率、厚度测量

目录

摘    要 i

Abstract ii

目录 iii

第一章   绪论 1

1.1研究动机与目的 1

1.2 纳米金属膜的研究 1

1.3 内容概述 2

第二章 测量薄膜厚度的方法 3

2.1 椭圆偏振法 3

2.2 微量天平法 3

2.3 石英晶体振荡法 3

2.4 电阻法 4

2.5 电容法 4

2.6 表面粗糙度仪法 4

2.7 其它测量薄膜的方法 5

第三章  薄膜光学的基本理论 7

3.1 薄膜中的折射定律 7

3.2 均匀薄膜对光的反射及透射 7

3.2.1 反射 7

2.2.2 透射 8

第四章 薄膜厚度测量 10

4.1 实验设计 10

4.2 实验数据 11

4.3 实验结果分析 12

第五章  结论 14

致谢 15

参考文献 16