摘 要
随着环境与发展成为人们普遍关注的问题，节能改造已成为工业企业共同的课题。冷却水系统如同单晶工艺生产的生命线，对于正常的生产和维护设备的安全起着至关重要的作用，但也是系统能耗的主要部分。在工艺冷却水系统设计过程中，采取节能措施，开发节能设计，降低水系统的电能消耗，不仅有助于控制生产线的电能消耗来减少企业生产成本，而且对于节能减排有积极的意义。
本文对工艺冷却水控制系统和江森的智能楼宇管理系统——METASYS系统作了概述，并对工艺冷却水节能改造工程设计方案进行了分析和详细介绍。首先确定系统的控制点、设备的选型，然后运用GX9100软件来进行上位机编程，最后对控制方案进行实施。通过现场调试的结果表明，此次方案采用江森自控的METASYS系统，拥有其独特的优越性，取得了比较好节能效果。
关键词：节能改造、单晶工艺、冷却水系统
目 录
摘要……………………………………………………………………………….…………….II
1 绪论………………………………………………………………………………………… 1
2 METASYS系统…………………………………………………………………………3
2.1 METASYS网络……………………………………………………………………….3
2.2 OWS（操作站）………………………………………………………………………4
2.3 DDC（直接数字控制器）……………………………………………………………4
2.4 NCU(网络控制单元) …………………………………………………………………5
2.5 其它设备………………………………………………………………………………5
3 单晶工艺冷却水方案设计…………………………………………………………….6
3.1 设计说明……………………………………………………….………………………6
3.2 方案讨论…………………………………………………………….…………………7
3.3 总体设计步骤……………………………………………………….…………………8
4 DX编程…………………………………………………………………………………….9
4.1 用户图形化编程………………………………………………………………………9
4.2 DX 控制器配置流程………………………………………………………………….9
4.3 具体编程过程…………………………………………………………………………10
5 DDC接线及调试…………………………………………………………………………17
5.1 DDC接线及设备调试步骤………………………………………………………….17
5.2 DDC加电检测…………………………………………………………………………17
5.3 程序下载过程……………………………………………………………………….18
5.4 调试验收……………………………………………………………………………….19
6 总结…………………………………………………………………………………………20
致谢……………………………………………………………………………………………….21
参考文献……………………………………………………………………………………22
附录………………………………………………………………………………………………23
